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Filter

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       过滤器(FILTER)：研磨液的浆料颗粒从30-200μm广泛分布，按标准应该把浆料颗粒控制在0.5μm以内。如果不过滤掉大于0.5μm的颗粒将导致晶圆表面被刮伤，于是浆料过滤便成为该工艺的关键点。

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