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Slurry
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研磨液(SLURRY)：在芯片制造的高度集成化过程中，为在超小的面积上形成回路，重叠多层回路的同时缩小回路间间隔。但如果间隔太小，就很难克服各不同位置的高度差，重叠多层，所以形成一个层后通过化学、物理Polishing平整后再形成下一个层，这时使用的Slurry称为CMP用Slurry，根据进行Polishing的Substrate种类进行区分。 |
