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研磨盘(DISK): CMP三大耗材之一,又称CMP PAD CONDITIONER,以高品质的人工钻石作为原材料,镀在金属圆盘表面,以客制化的排列分布和搭配,用于CMP 研磨垫表面维持特定粗糙度,搭配不同的化学研磨液,来实现对晶圆表面的研磨。
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